轴

Z轴

R/X/Y轴参数

R轴

X轴

Y轴

轴承类型

气浮主轴

立柱移动范围

1300mm

测量范围

250大值

800mm

300mm/s

主轴圆度误差µm*

0.1+0.0008H

直线度误差/100mm

0.3µm

直线度误差

1.5µm/150mm

0.3µm/100mm

0.3µm/100mm

主轴跳动误差µm**

0.1+0.0008R

直线度误差/900mm

1.8µm

直线度误差/测量范围

---

1.6µm/800mm

0.9µm/300mm

旋转速度

max 12rpm

直线度误差/1300mm

2.6µm

测量速度

16mm/s

16mm/s

16mm/s

角度分辨率

0.01°

测量速度

16mm/s

定位速度

25mm/s

25mm/s

25mm/s

定位精度

0.1°

定位精度

15µm/1300mm

定位误差

5µm/150mm

10µm/800mm

6µm/300mm