Flat Master 1400平面度测量系统简介：

Flat Master 1400平面度测量系统是美国康宁Corning Tropel研制的高精度平坦度、平整度(Flatness)检测设备；在国外的有着成熟的应用，可以对BareWafer、Disk和精密工业部件的进行多参数的平坦度检测。

Corning TropelFlatMaster 1400是LCD图形掩膜平面测量系统。在提供平面测试技术方面具有丰富的经验，能力已扩展至包括大型LCD图形掩膜的测量。

FlatMaster 1400针对LCD图形掩膜，提供高速、可重复及的全表面平面测量，以满足下一代平板显示要求。

Tropel Flat Master 1400平面度测量系统利用其非接触、切线入射技术和基于Corning Tropel现有FlatMaster技术的子孔径拼接干涉计(stitching interferometer)，FlatMaster 1400对图形掩膜表面进行光栅扫描，并组合200mm x 200mm测量结果。终可以得到达220mm x 1400mm和更大面积图形掩膜的完整表面分析。

针对大型LCD图形掩膜制造商而设计，FlatMaster 1400使制造商可以对从研磨(grinding)到张抛光(polish)的制造工艺进行的监控和改进。“FlatMaster 1400是一种明确的工艺改进方法。该系统允许图像掩膜可以被迅速测量以确定制造过程是否在控制之中，而后如果需要的话进行调整。”